记者20日从浙江大学获悉,该校光电科学与工程学院/海宁海外集合学院狄大卫磨真金不怕火和赵保丹询查员团队,告成研发出微米和纳米钙钛矿LED,其降尺寸流程仅形成隐微的性能损耗。其中,最小尺寸仅为90纳米的纳米钙钛矿LED,为迄今为止公开报谈的最小LED像素。干系询查论文发表在海外期刊《当然》上。
狄大卫先容,现辞寰宇开首进的流露本领是基于Ⅲ-Ⅴ族半导体的袖珍发光二极管,可兑现超高清、超高精度的光电流露。但受限于复杂的工艺本领,袖珍发光二极护士形老本极高,当像素尺寸减小到约10微米或更小时,合约交易限度会急剧下跌。
从Ⅲ-Ⅴ族半导体的袖珍发光二极管的袖珍化询查中获取启发,狄大卫团队运行研制用于明天流露本领的更小的钙钛矿LED,于2021年头次提议“袖珍钙钛矿LED”见地,并获取国度与海外专利。
用传统光刻工艺制造袖珍钙钛矿LED会破损钙钛矿材料。为此,询查团队缱绻出一套局域战斗工艺,通过光刻制作的图案化窗口确保像素区域辨别电极边际,或者制造像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED,同期保证了LED的发光限度。
据悉,微米和纳米钙钛矿LED在AR/VR流露等限制具有深广诳骗后劲。